ASML與台積電推動改用12英寸光罩,目標2031年建試產線、2033年支援先進節點量產
AI 市場總結
ASML 與 TSMC 正在協調業界轉向採用 12 吋光罩,以提升高 NA EUV 的產能、降低單位成本,並消除限制大型晶片(large dies)生產力的拼接(stitching)限制。Intel Foundry 與 Samsung 的支持提高了生態系統達成一致的可能性,但時間表延伸至 2031 年的試驗產線(pilot line)以及 2033 年的量產就緒(production readiness)。短期影響主要集中於對未來高 NA EUV 採用的預期,以及對設備路線圖依賴性的影響。
影響等級
● 中
主要受影響標的
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● 中性
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ASML與台積電發起業界倡議,推動極紫外(EUV)光刻改用12英寸光罩,以提升高數值孔徑(highNA)EUV設備產能並降低成本。計劃目標是在2031年建立12英寸光罩試產線,並在2033年備妥支援先進製程節點量產的相關光刻系統。ASML表示,高NA EUV初期會沿用現有6英寸光罩,但轉向12英寸可移除拼接限制並提升晶圓廠生產力。