ASML วางหมากยุคไฮเปอร์สเกล ดัน High-NA EUV ใกล้ HVM และเดินหน้าสู่ Hyper-NA > 0.75 NA

ASML ส่งมอบเครื่องลิโทกราฟี High-NA EUV รุ่น EXE:5000 ครั้งแรกในไตรมาส 4 ปี 2023 และทำการฉายลายเวเฟอร์แผ่นแรกได้ในไตรมาส 3 ปี 2024 ขณะที่รุ่นถัดไป EXE:5200B ส่งมอบในไตรมาส 4 ปี 2025 และมีกำลังการผลิต 175 WpH ภายในเดือนธันวาคม ปี 2025 จำนวนเวเฟอร์ High-NA ที่ผลิตสะสมแตะ 500,000 แผ่น โดยลูกค้ากำลังเดินหน้ากระบวนการรับรองคุณสมบัติการผลิตและ HVM ใกล้เข้ามา นอกจากนี้ ASML ยังวางแผนไปสู่ Hyper-NA (> 0.75 NA) เพื่อคงการฉายลายแบบครั้งเดียวให้ต่อเนื่องได้ในช่วงครึ่งหลังของทศวรรษ 2030